氮氣在真空熱處理中的應用原理主要包含兩個方面，都是利用氮氣的化學性質穩定、不活潑性質，一是在加熱時，特別是在1000℃以上時，為了防止Cr等金屬元素在高的真空度下的揮發，在抽真空到1~5Pa后回充氮氣，以調整爐內的真空度，防止金屬元素的揮發；二是在淬火時，為了提高冷卻能力（一般來說，真空度越高，無論是空冷還是油冷，則冷卻能力越差），根據不同的淬火冷卻方法、不同的爐型，而采用回充氮氣，從而選擇在不同的真空度下淬火，以得到不同的淬火烈度。補充：真空爐用氮氣濃度應≥99.999%。
對真空淬火爐而言有兩種應用：一種是爐內回沖，主要起防氧化作用；另一種是作為冷卻氣體實施對工作淬火的冷卻，主要起冷卻和防氧化；
對真空滲碳爐而言：主要是作為載氣；
從應用中不難分析其應用原理
對真空淬火爐而言有兩種應用：一種是爐內回沖，主要起防氧化作用；另一種是作為冷卻氣體實施對工作淬火的冷卻，主要起冷卻和防氧化；
對真空滲碳爐而言：主要是作為載氣；
從應用中不難分析其應用原理
